中国科学院半导体材料科学重点实验室是1990年9月15日经中国科学院批准，1991年3月正式向国内外开放的院级重点实验室。前三届学术委员会主任分别为林兰英院士、蒋民华院士、王占国院士;实验室第一、二届主任为王占国院士，第三届主任为陈诺夫研究员，第四-五届主任为陈涌海研究员，现任实验室主任为刘峰奇研究员。
实验室面向国家重大需求，围绕国际半导体材料科学前沿和要解决的关键科学与技术问题，开展半导体材料与器件应用基础性研究，主攻方向是半导体功能材料与集成。经过多年的发展与自适应调整，形成了三个特色优势研究方向：(1)低维半导体光电子材料、器件与集成;(2)高温及高迁移率微电子材料与器件;(3)单晶衬底及特殊环境半导体材料。
根据国际半导体材料与器件的发展趋势和我国的实际情况，坚持立足国内、面向世界的原则，把实验室建成国内一流、在国际上有影响的半导体材料与器件研究的中心、培养***优秀青年人才的基地和开展高水平学术交流的平台、开展高水平学术交流平台、以及开发新材料和新器件的基地。
